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      硅膠固定MEMS器件

      2021/10/28 13:25:10        1707

      微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。MEMS器件體積小,重量輕,耗能低,慣性小,諧振頻率高,響應時間短。

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